Liên hệ tư vấn

Mr Đạt

techsupport@songthanhcong.com

0944750950

Thông tin sản phẩm
Thông số kỹ thuật

BRONKHORST EL-FLOW SELECT Bộ đo và điều khiển lưu lượng khối lượng khí Việt Nam

Mô tả sản phẩm EL-FLOW SELECT

Bronkhorst EL-FLOW Select là dòng thiết bị đo và điều khiển lưu lượng khối lượng khí (Mass Flow Meter/Controller) dạng phòng thí nghiệm, sử dụng nguyên lý đo nhiệt để đo chính xác lưu lượng khí và, với phiên bản controller, thực hiện điều khiển lưu lượng theo giá trị đặt. Dòng sản phẩm được thiết kế cho các loại khí sạch và khô, có nhiều cấu hình về dải lưu lượng, áp suất, kết nối và giao tiếp. EL-FLOW Select có dải sản phẩm từ 0,014 mln/min đến 1670 ln/min, độ chính xác tiêu chuẩn ±0,5% Rd + ±0,1% FS, độ lặp lại <±0,2% Rd hoặc <±0,04% FS và áp suất tối đa của dòng lên đến 400 bar(g) tùy model/cấu hình. Ngoài phiên bản Select tiêu chuẩn, Bronkhorst còn cung cấp các biến thể Metal Sealed cho khí phản ứng và ứng dụng khí độ tinh khiết cao, cùng các phiên bản Low-ΔP cho yêu cầu tổn thất áp suất thấp.

Tài liệu kỹ thuật EL-FLOW Select – Bronkhorst

Ưu điểm nổi bật EL-FLOW SELECT

Đo lưu lượng khối lượng bằng nguyên lý nhiệt: phù hợp cho đo và điều khiển lưu lượng khí với độ chính xác và khả năng đáp ứng cao.
Dải lưu lượng rộng: toàn bộ dòng EL-FLOW Select có cấu hình từ 0,014 mln/min đến 1670 ln/min, tùy model.
Độ chính xác: ±0,5% Rd + ±0,1% FS.
Độ lặp lại: <±0,2% Rd hoặc <±0,04% FS, tùy giá trị nào lớn hơn.
Áp suất vận hành cao: các cấu hình trong dòng có thể đáp ứng áp suất lên đến 400 bar(g).
Multi Fluid / Multi Range: tùy chọn cho phép cấu hình nhiều loại khí và nhiều dải đo; rangeability có thể lên đến 187,5:1.
Nhiều phiên bản chuyên dụng: gồm EL-FLOW Select tiêu chuẩn, Metal Sealed cho ứng dụng khí phản ứng/độ tinh khiết cao và Low-ΔP cho ứng dụng cần giảm tổn thất áp suất.
Thiết kế dạng phòng thí nghiệm: IP40, phù hợp với phòng thí nghiệm, tủ máy và các hệ thống đo điều khiển khí trong môi trường khô.
Khả năng tích hợp hệ thống: Bronkhorst cung cấp các cấu hình giao tiếp như RS232 và nhiều tùy chọn bus/giao thức số tùy thiết bị.
Ứng dụng rộng: được sử dụng trong hóa chất, bán dẫn, xử lý bề mặt, thực phẩm, nghiên cứu và các hệ thống điều khiển khí.

Trang sản phẩm EL-FLOW Select – Bronkhorst

Thông số kỹ thuật EL-FLOW SELECT

Thông số	Giá trị
Thương hiệu	Bronkhorst
Dòng sản phẩm	EL-FLOW Select
Loại thiết bị	Mass Flow Meter / Mass Flow Controller
Môi chất	Khí
Nguyên lý đo	Thermal Mass Flow
Dải lưu lượng toàn dòng	0,014 mln/min đến 1670 ln/min
Độ chính xác	±0,5% Rd + ±0,1% FS
Độ lặp lại	<±0,2% Rd hoặc <±0,04% FS
Áp suất tối đa	Lên đến 400 bar(g), tùy model
Nhiệt độ vận hành	-10…+70°C
Cấp bảo vệ	IP40
Multi Fluid / Multi Range	Tùy chọn
Rangeability Multi Range	Lên đến 187,5:1
Loại khí	Khí sạch và khô; cấu hình Metal Sealed/Low-ΔP tùy ứng dụng
Giao tiếp	Tùy model và cấu hình điện tử
Ứng dụng điển hình	Đo và điều khiển lưu lượng khí

Thông số trên là thông số cấp dòng sản phẩm; dải lưu lượng, áp suất, kết nối, giao tiếp và cấu hình MFM/MFC cụ thể phải xác định theo từng model EL-FLOW Select.

Datasheet/Brochure EL-FLOW Select – Bronkhorst

Model / phiên bản

EL-FLOW Select là một dòng sản phẩm, không phải một mã thiết bị duy nhất. Bronkhorst cung cấp nhiều model với dải lưu lượng khác nhau. Các cấu hình có thể bao gồm:

EL-FLOW Select Mass Flow Meter: chỉ đo lưu lượng khối lượng khí.
EL-FLOW Select Mass Flow Controller: đo và điều khiển lưu lượng khí.
EL-FLOW Select Metal Sealed: thiết kế cho khí phản ứng và các ứng dụng khí độ tinh khiết cao, đặc biệt trong ngành bán dẫn.
LOW-ΔP-FLOW: phiên bản dành cho các ứng dụng yêu cầu tổn thất áp suất thấp hoặc môi chất có tính ăn mòn.
Multi Fluid / Multi Range: tùy chọn cho phép sử dụng nhiều loại khí và nhiều dải đo trong cùng thiết bị khi model hỗ trợ.

Ứng dụng EL-FLOW SELECT

Điều khiển lưu lượng khí trong hệ thống phản ứng hóa học.
Cấp khí chính xác cho thiết bị và quy trình bán dẫn.
Cấp khí cho hệ thống CVD và sản xuất kim cương nhân tạo.
Điều khiển oxy và các khí công nghệ trong hệ thống xử lý bề mặt.
Hệ thống phối trộn khí và dosing khí.
Thiết bị nghiên cứu và phòng thí nghiệm.
Quy trình hóa chất và dược phẩm.
Ứng dụng thực phẩm và đồ uống.
Hệ thống thử nghiệm và phát triển quy trình.
Các hệ thống tự động hóa cần đo hoặc điều khiển lưu lượng khí bằng PLC/DCS.

Lợi ích khi sử dụng

EL-FLOW Select cung cấp giải pháp đo và điều khiển lưu lượng khí có thể cấu hình theo nhiều dải lưu lượng và điều kiện vận hành khác nhau. Việc sử dụng nguyên lý đo nhiệt giúp thiết bị phù hợp với các hệ thống cần kiểm soát lưu lượng chính xác, trong khi tùy chọn Multi Fluid / Multi Range tăng tính linh hoạt khi một thiết bị cần phục vụ nhiều loại khí hoặc nhiều dải đo. Các phiên bản Metal Sealed và Low-ΔP mở rộng khả năng sử dụng sang những ứng dụng yêu cầu độ tinh khiết cao, khí phản ứng hoặc tổn thất áp suất thấp.